焙烧后的炭素制品是多孔材料。为了改善或改变制品的某些理化性能，而将其置于可密闭容器——浸渍罐内，通过抽真空排气，在一定的温度和压力下，使注入的液态浸渍剂浸渗到制品开口气孔中，并在随后的冷却过程中被固化，以达到减少产品孔度并改善气孔结构，进而改善或改变制品物理和机械性能之目的。
炭素浸渍真空系统主要为罗茨液环真空机组，以水环泵作为前级泵，串联一个或多个罗茨泵，极限压力可达到0.5Pa。机组包含水环泵、罗茨泵、电机及相关的附属管道、阀门、仪表等，可根据客户需求选用换热器、汽液分离器、冷水机等。
为降低所抽气体温度，特设计在机组吸气口前端加入除尘冷却单元，由油浴罐、冷却罐、除尘罐组成。油浴罐内部分隔为两部分，左部进气，右部排气，底部有变压器油，气体由罐上方进入，其中的杂质溶入真空高速油中，干净气体进入到冷却罐中，再经除尘罐进去机组吸气入口。 引进冷水机自行冷却工作液，有效解决企业冷却水温度高的问题。
罗茨真空机组可采用闭式循环系统，在泵工作期间 , 由于部分工作液会随所抽排的气体被带出泵 , 经过气液分离器内分离后 , 又流回到泵中 , 使减少的工作液体得到随时补充，即工作液体是闭路循环的 。因需抽排气体的浸渍罐保有一定的温度 , 将使液环真空泵的温度升高 , 工作液的温度也升高 , 其饱和蒸汽压也要升高 , 因而就要影响所能达到的真空度 , 因此 , 增加换热器，以降低工作液的工作温度 。
罗茨液环真空机组具有在高真空度下抽速大的特点；选择真空机组时，一般要按高于工作真空至少半个或一个数量级以上来选择合适的机组； 罗茨液环真空机组的前级泵的工作液多采用水，也可采用有机溶剂（如真空泵油、柴油等），其极限真空由工作液的饱和蒸气压决定。
